習近平*強調：“要加快科技自立自強步伐，解決外國‘卡脖子’問題。”對于半導體設備領域，提升國產(chǎn)化率推進自主可控勢在必行。

集微網(wǎng)了解到，前不久，國內某光伏設備頭部供應商解決了一項關鍵卡脖子環(huán)節(jié)——半導體設備專用串級溫控器，產(chǎn)品成功通過國內光伏龍頭企業(yè)的產(chǎn)線驗證，不僅實現(xiàn)國產(chǎn)替代，而且在光伏良率的提升上優(yōu)于國外品牌產(chǎn)品，在國家科技成果鑒定中被行業(yè)專家評定為國際先進。

據(jù)悉，該串級溫控器由在溫控領域深耕超過30年的國內廠商廈門宇電自動化科技有限公司（以下簡稱：宇電）自主研制。此次半導體設備專用國產(chǎn)串級溫控器的成功推出，填補了過去多年在這一領域的國內空白。隨著在光伏制造產(chǎn)線的成功導入，該產(chǎn)品接下來將向微電子等更廣泛的半導體制造領域擴展，推進上游半導體設備的儀表國產(chǎn)替代。

替代國外品牌，國產(chǎn)溫控器實現(xiàn)光伏半導體領域突破

溫控器，顧名思義，就是測量并調控溫度的設備。它通過讀取溫度傳感器的測量數(shù)值，并通過計算機程序執(zhí)行復雜智能的控制算法，利用連接的執(zhí)行器件精確調節(jié)加熱器等負載的溫度。是工業(yè)生產(chǎn)、自動化產(chǎn)線上必不可少的核心配件。

而與普通PID溫控器不同，半導體生產(chǎn)設備中許多環(huán)節(jié)，比如擴散、氧化、刻蝕、PECVD等過程使用的串級溫控器需要高端復雜調節(jié)算法，以此來應對半導體設備中溫度控制滯后較大且擾動多等問題。作為溫控器應用的高端市場，半導體制造領域對溫控器的產(chǎn)品精度、可靠性、抗干擾性和穩(wěn)定性要求均非?？量獭?/p>

一位光伏制造業(yè)內人士指出，生產(chǎn)晶體硅太陽能電池的產(chǎn)線上，溫度控制更是堪比靈魂。比如擴散爐需要將爐內溫度按照一定升溫速率加熱到700℃-1040℃左右，并且要快速將溫度波動穩(wěn)定在±0.5℃內，這對控溫的精準度、可靠性和穩(wěn)定性有極致的苛刻要求，溫度一旦發(fā)生偏差，產(chǎn)品性能就會大打折扣甚至報廢。

超高的技術門檻使得能進入半導體領域的串級溫控器廠商屈指可數(shù)，以往只有日本AZBIL、英國PMA和美國WATLOW旗下EUROTHERM等少數(shù)品牌可以滿足要求。而宇電新推出的AI-8半導體設備專用串級溫控器去年成功進入光伏制造領域，成為目前唯一一家產(chǎn)品通過光伏半導體市場驗證的國產(chǎn)溫控器企業(yè)。

作為中國智能調節(jié)器和溫控器龍頭企業(yè)，宇電擁有兩座建筑面積分別為1萬平方米和5萬平方米的現(xiàn)代化工業(yè)廠房，年產(chǎn)各種型號智能溫控儀表160萬臺，廣泛應用在熱處理、電爐、新能源、化工、半導體設備、晶體生長、超導材料及精密實驗設備等上百個行業(yè)領域。例如，央視《大國重器》中介紹的三一重工生產(chǎn)1800兆帕高強鋼，加熱爐的溫度控制就采用了宇電儀表。

去年3月開始，在疫情及芯片漲價等因素影響下，供應鏈受阻，許多進口溫控器不僅紛紛宣布漲價，同時還限量供應，下游企業(yè)面臨斷貨停產(chǎn)危機。作為負責任的國產(chǎn)溫控器龍頭企業(yè)，宇電管理層決定寧愿高價購買市場芯片也要維持國內溫控器供應鏈的穩(wěn)定，在市場出現(xiàn)部分客戶試圖“囤貨”宇電產(chǎn)品時，宇電及時在承諾不漲價和不斷貨，這一舉動不僅有效阻止了部分囤貨行為，使得宇電順利實現(xiàn)給所有客戶確保供貨且不漲價的目標，也大幅提升了客戶對宇電的信任。

在芯片缺貨的大背景下，半導體設備所需的串級溫控器也同樣受到影響，僅有的幾家進口儀表供應商均無法及時交貨。對此國內某光伏設備龍頭企業(yè)找到宇電，希望能和宇電合作在最短的時間內解決串級溫度控制技術問題。在獲得客戶需求后，宇電研發(fā)部門上下全力以赴，夜以繼日加班工作，在短短一個多月內就研發(fā)出了全新的串級溫度控制儀表供客戶測試，其后二個月順利完成客戶廠內及生產(chǎn)現(xiàn)場的各項測試，并在客戶下單后快速完成批量供貨，最終成功批量應用到生產(chǎn)現(xiàn)場，解決了客戶因溫控器缺貨而可能導致停產(chǎn)的危機。

從宇電得知，AI-8半導體設備專用溫控器具有高精度、低溫漂且高效節(jié)能的突出優(yōu)勢，采用了宇電新一代高性能24位定制A/D芯片，基于AI人工智能技術的PID算法，具有0.05-0.2級多種測量精度可選，抗干擾性強，可靠性高。而相對進口串級溫控器來說，宇電自主研發(fā)的AI智能自動定標技術讓串級儀表的調試工作和普通單回路PID儀表的一樣簡單，遇到復雜控制對象也能輕松應對，從而在控制算法上實現(xiàn)了對進口串級溫控器的超越。

客戶將宇電儀表和國外品牌儀表一同用到終端客戶的設備上進行測試，和國外品牌進行全方位對比。結果顯示，使用宇電儀表的設備調試更方便，控溫更穩(wěn)定，而且生產(chǎn)的光伏產(chǎn)品良率也好于進口品牌。至此，宇電完全解決了客戶核心設備之一串級溫控器的斷供問題，并填補了國產(chǎn)高端儀表在半導體行業(yè)應用的空白。

不僅僅是便宜，在性能上也實現(xiàn)對進口產(chǎn)品的全面超越

由于過去多年以來國產(chǎn)品牌缺席高端市場的原因，行業(yè)普遍有一種固有認識“國產(chǎn)產(chǎn)品優(yōu)勢主要是便宜，上檔次還是要用進口產(chǎn)品”，而且，隨著2023年芯片荒結束，進口溫控器恢復正常供應，設備企業(yè)又開始在其新產(chǎn)品中重新恢復使用進口溫控器產(chǎn)品。

值得注意的是，光伏行業(yè)是一個快速迭代的行業(yè)，2023年起光伏設備紛紛升級到TOPCon等新工藝。已經(jīng)批量使用宇電產(chǎn)品的某光伏龍頭企業(yè)，在其新產(chǎn)品中又恢復使用AZBIL等進口溫控器。然而始料未及的是，這批裝配進口溫控器的新設備雖然在設備廠內調試正常，但到終端現(xiàn)場后，由于生產(chǎn)工藝環(huán)境改變，使用進口溫控器的生產(chǎn)線出現(xiàn)了嚴重的溫度控制誤差等問題，導致產(chǎn)品遲遲無法順利生產(chǎn)，進口溫控器的技術人員調試半個多月仍無法解決問題，最終以客戶自身設備存在問題為由扔下客戶走人。

由于進口串級溫控器無法適應新的光伏工藝設備，導致終端客戶每天的損失高達數(shù)百萬元。此時，宇電再次承擔起了為客戶救火的任務，負責售后服務的技術專家全體動員，前往各個終端客戶現(xiàn)場，在短時間內完成了現(xiàn)場串級溫控器更換和調試任務，成功使客戶設備順利生產(chǎn)。特別地，客戶發(fā)往泰國的設備采用了全新的4路SSR輸出方式，這款產(chǎn)品以往宇電還沒有正式生產(chǎn)過，在獲得客戶要求后，宇電研發(fā)部門結合生產(chǎn)部門，僅僅用了不到一周時間就完成了特殊新產(chǎn)品定制研發(fā)到批量生產(chǎn)及老化過程，并直接安排人員帶上產(chǎn)品前往泰國更換進口溫控器及進行調試，最終順利調試成功讓客戶設備及時投入生產(chǎn)。與進口溫控器品牌的怠慢和拉跨相比，宇電無疑在溫控器這一細分領域創(chuàng)造了中國速度的奇跡，也贏得了終端客戶的最終信賴。

半導體制造是一個特別重資產(chǎn)的環(huán)節(jié)，其中，設備的投入占比巨大。以建設一個投資超百億元的12英寸晶圓廠為例，其中約70%的投入資金都是用來購買設備。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，2022年全球半導體設備銷售額達到1076億美元，再創(chuàng)新高。其中，按區(qū)域劃分，中國大陸達到283億美元，占比28.27%，已連續(xù)3年成為全球最大半導體設備市場。但與全球最大半導體設備市場不匹配的是，我國在半導體設備供應上，力量仍較薄弱，高端設備儀器主要依賴國外進口，因此，關鍵設備國產(chǎn)化和避免卡脖子不僅是國家的國策，也是企業(yè)穩(wěn)定供應鏈和提升競爭力必不可少的條件。

據(jù)悉，在光伏制造領域應用的溫控器型號還不是宇電最高端的產(chǎn)品，他們已推出了面向要求更苛刻的微電子、集成電路制造領域的更高性能的溫控器型號產(chǎn)品，目前正與多家半導體設備供應商進行洽談合作，讓我們期待半導體設備國產(chǎn)化有更令人驚喜的表現(xiàn)。